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求助关于薄膜(厚度1um左右)断面形貌的观察分析方法

作者 wang12330
来源: 小木虫 600 12 举报帖子
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本人是做涂层基础研究的,在金属基体(Ti)表面沉积一层薄膜(厚度在1um左右),请问如何观察薄膜的断面形貌,如下图这种


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  • 精华评论
  • fengxx123

    像柱状晶。这断口没什么好看的,拿TEM说事吧

  • awwwvfp

    我们曾经做过薄膜的SEM表征,粘在样品台上进行操作,你这个是否可以撕开、或者切成细丝粘上后再表征呢?

  • zqts123

    PVD

  • wang12330

    引用回帖:
    6楼: Originally posted by zqts123 at 2017-10-21 15:59:00
    PVD

    磁控溅射制备出来的,但是后续的断口形貌观察以及样品制备请问您了解吗?

  • wang12330

    引用回帖:
    5楼: Originally posted by awwwvfp at 2017-09-17 19:20:45
    我们曾经做过薄膜的SEM表征,粘在样品台上进行操作,你这个是否可以撕开、或者切成细丝粘上后再表征呢?

    这个薄膜是可以撕开的,请问一下,您说的撕开是把薄膜直接撕开然后通过导电胶粘到样品台上面,直接观察薄膜的断面形貌吗

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